(一)工作原理
 

　　進口探針臺通過機械探針與半導體晶圓或芯片上的焊盤建立可靠的電氣連接，從而實現(xiàn)對芯片電性能的測試。在測試過程中，探針臺的精密定位平臺將探針精準地移動到芯片的測試點上，施加特定的電信號，并采集芯片反饋的信號，以評估芯片的各項性能指標，如電流、電壓、電阻、電容等。同時，探針臺還可與外部測試儀器(如半導體參數(shù)分析儀、示波器、頻譜分析儀等)配合使用，對芯片進行更全面、深入的測試。
 

　　(二)關(guān)鍵技術(shù)
 

　　高精度定位技術(shù)：進口探針臺通常采用先進的運動控制技術(shù)，如高精度絲桿導軌、直線電機、氣浮軸承等，配合高分辨率的光柵尺或磁柵尺反饋系統(tǒng)，實現(xiàn)納米級的定位精度。例如，某些探針臺的定位精度可達 ±0.5μm 甚至更高，能夠滿足先進制程芯片微小測試點的對準需求。
 

　　探針卡技術(shù)：探針卡是探針臺的核心部件之一，它集成了數(shù)十到數(shù)千根探針，用于與芯片焊盤進行電氣接觸。隨著半導體技術(shù)的發(fā)展，探針卡也在不斷創(chuàng)新，出現(xiàn)了多種新型探針結(jié)構(gòu)和材料。如 MEMS(微機電系統(tǒng))探針卡，采用 MEMS 工藝制造，具有尺寸小、精度高、壽命長等優(yōu)點，能夠?qū)崿F(xiàn)超密間距測試，適應(yīng) 5nm 以下制程芯片的微凸點和混合鍵合結(jié)構(gòu)的測試需求；垂直探針卡則具有更好的電氣性能和接觸穩(wěn)定性，適用于高頻、高速信號測試以及對接觸力要求較高的應(yīng)用場景。
 

　　環(huán)境模擬技術(shù)：為了模擬芯片在實際工作中的各種環(huán)境條件，進口探針臺配備了完善的環(huán)境模擬系統(tǒng)。該系統(tǒng)可實現(xiàn)對溫度、濕度、氣壓、電磁干擾等環(huán)境參數(shù)的精確控制。例如，溫度控制范圍可從 - 60℃至 300℃甚至更寬，能夠滿足汽車電子、航空航天等領(lǐng)域?qū)π酒跇O端溫度環(huán)境下的可靠性測試需求；通過電磁屏蔽技術(shù)，可有效消除外界電磁干擾，保證對高頻、高靈敏度芯片的測試準確性。
 

　　自動化與智能化技術(shù)：現(xiàn)代進口探針臺越來越多地采用自動化和智能化技術(shù)，以提高測試效率和測試質(zhì)量。自動化功能包括自動上下料、自動晶圓對準、自動探針定位等，減少了人工操作帶來的誤差和時間損耗。智能化技術(shù)則體現(xiàn)在通過集成 AI 算法，實現(xiàn)測試參數(shù)的自適應(yīng)調(diào)整、探針磨損監(jiān)測與預(yù)測、測試數(shù)據(jù)的實時分析與處理等。例如，某些探針臺能夠根據(jù)實時測試數(shù)據(jù)動態(tài)優(yōu)化探針與芯片焊盤的接觸力，在保證測試準確性的同時，降低探針磨損率和芯片焊盤損傷風險。