探針臺(tái)

本體

電壓電流（可定制）

500V/1A(標(biāo)準(zhǔn))

500V/1A(標(biāo)準(zhǔn))

500V/1A(標(biāo)準(zhǔn))

材料

航空鋁

卡盤大小

6" ,360 度轉(zhuǎn)動(dòng), 可微調(diào)

8"  ，360 度轉(zhuǎn)動(dòng)  ，    可微調(diào)

12" ，360 度轉(zhuǎn)動(dòng) ，可微調(diào)

卡盤行程和精度

6"*6"  ，精度 1um，

8"*8"  ，精度  1um，

12"*12  ，精度 1um

卡盤氣浮移動(dòng)范圍

360 度快速移動(dòng)，便于快速定位 ，提高測試效率

卡盤拉出功能

卡盤可以快速拉出，拉出面積占比大于80% ，便于更換樣品

卡盤吸附方式

真空吸附 , 可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附   (適用于薄片或者射頻器件)

背電極測試功能

具備 樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空  ， 帶 4mm 香蕉頭插口

腔體

帶腔體暗室，可以屏蔽外部電信干擾同時(shí)保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時(shí)無結(jié)霜

溫控

溫度范圍

-60-300℃

-60-300℃

-60-300℃

溫控精度

溫度分辨率  ：    0.01°C

類型

同軸/三同軸/高壓

低控溫速率

±0.1°C   /小時(shí)

制冷方式

氣冷  (自動(dòng)控溫)

針座平

臺(tái)

材質(zhì)

U 型平臺(tái)  ，    鍍鎳  ，    與探針座之間具備更強(qiáng)吸附力

大小

最多可放置6個(gè)探針座

最多可放置8個(gè)探針座

最多可放置8個(gè)探針座

升降平臺(tái)

二階抬桿一次性6mm，接觸，分離；微調(diào)行程為50mm，分辨率為1um

顯示系

統(tǒng)

顯微鏡成像系統(tǒng)

體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD 成像系統(tǒng)

倍率范圍

15X~100X/60X~420X/20X~4000X

顯微鏡行程

具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu)  ，    XYZ 行程分別為 2 英寸*2 英寸*2 英寸  ，    精度 1um

CCD 成像系統(tǒng)

200 萬/500 萬像素  ，    幀率 60fps ，帶拍照、     錄像、     測量功能

探針座

種類

DMP-200/100/80/75

X-Y-Z 行程

12mm-12mm-12mm

機(jī)械精度

0.5um/0.7um/2um/3um

夾具

漏電精度

10pA/100fA/20fA

接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/coax/triax接口/SMA/裸線等

其它

選件

屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率

電力需求

220V/50HZ